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中国在芯片光刻技术领域近年取得多项重大突破和芯片清洗剂介绍

合明科技 👁 1942 Tags:芯片光刻技术芯片清洗剂选择

中国在芯片光刻技术领域近年取得多项重大突破,主要集中在以下方向:

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一、EUV光源技术突破

  1. 固体激光器技术
    中国科学院上海光机所林楠团队突破二氧化碳激光技术路线,采用固体激光器开发出LPP-EUV光源,能量转换效率达3.42%,达到国际领先水平。该技术具备体积小(仅为传统设备1/3)、电光效率高(预计未来可达10倍提升)、成本低等优势。

  2. 极紫外光生成技术
    哈工大研发团队成功实现13.5nm极紫外光技术突破,波长精度达到国际EUV光刻标准,为国产EUV光刻机核心光源技术奠定基础。

二、新型光刻技术路线

  1. 光子芯片技术
    上海交大无锡光子芯片研究院建成国内首条光子芯片中试线,年产能达1万片晶圆。光子芯片采用光传输替代电子传输,具备超高速、低功耗特性,可绕开传统EUV光刻技术限制。

  2. LDP替代技术
    华为团队研发的激光诱导放电等离子体技术(LDP),与ASML的LPP技术形成差异化竞争,计划2026年实现量产。该技术可支持7nm以下制程芯片制造。

三、产业链关键突破

  1. 干式DUV光刻机
    国产首台套干式DUV光刻机实现65nm分辨率,套刻精度≤8nm,通过多重曝光技术可支持7nm芯片制造,已进入应用验证阶段。

  2. 核心部件国产化
    高精度光学镜头(套刻误差控制±0.8nm)、双工件台系统(定位精度0.1nm)等核心部件实现自主可控,良品率提升至85%以上。

四、国际影响与产业格局

  1. 市场冲击
    中国存储芯片价格仅为国际同类产品50%,2024年集成电路出口额达1.03万亿元(+20.3%),长鑫存储晶圆产量年增120%,导致三星/海力士市占率下降7.8%。

  2. 技术话语权重构
    ASML承认中国已有能力制造EUV光源,但预估完整光刻机研发仍需时间。中国在光子芯片等新兴赛道的突破,可能重塑全球半导体产业格局。

这些突破标志着中国正通过多技术路径突破光刻封锁,据工信部数据,2024年国产光刻设备交付量同比增长217%,在28nm及以上成熟制程领域实现85%自给率。未来需关注技术成果向商业量产转化的进程。

芯片清洗剂选择:

水基清洗的工艺和设备配置选择对清洗精密器件尤其重要,一旦选定,就会作为一个长期的使用和运行方式。水基清洗剂必须满足清洗、漂洗、干燥的全工艺流程。

污染物有多种,可归纳为离子型和非离子型两大类。离子型污染物接触到环境中的湿气,通电后发生电化学迁移,形成树枝状结构体,造成低电阻通路,破坏了电路板功能。非离子型污染物可穿透PC B 的绝缘层,在PCB板表层下生长枝晶。除了离子型和非离子型污染物,还有粒状污染物,例如焊料球、焊料槽内的浮点、灰尘、尘埃等,这些污染物会导致焊点质量降低、焊接时焊点拉尖、产生气孔、短路等等多种不良现象。

这么多污染物,到底哪些才是最备受关注的呢?助焊剂或锡膏普遍应用于回流焊和波峰焊工艺中,它们主要由溶剂、润湿剂、树脂、缓蚀剂和活化剂等多种成分,焊后必然存在热改性生成物,这些物质在所有污染物中的占据主导,从产品失效情况来而言,焊后残余物是影响产品质量最主要的影响因素,离子型残留物易引起电迁移使绝缘电阻下降,松香树脂残留物易吸附灰尘或杂质引发接触电阻增大,严重者导致开路失效,因此焊后必须进行严格的清洗,才能保障电路板的质量。

合明科技研发的水基清洗剂配合合适的清洗工艺能为芯片封装前提供洁净的界面条件。

合明科技运用自身原创的产品技术,满足芯片封装工艺制程清洗的高难度技术要求,打破国外厂商在行业中的垄断地位,为芯片封装材料全面国产自主提供强有力的支持。

推荐使用合明科技水基清洗剂产品。


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